第368章 追光設備的小改型驗證
重回1990：我的科技強國路 作者：汪小汪汪汪 投票推薦 加入書簽 留言反饋
追光三期廠房的第七號產線前，張京京蹲在地上，手裏拿著一個巴掌大小的金屬部件。部件的表麵呈現出深灰色的金屬光澤，摸上去有一種細微的顆粒感——這是塗層改性後的質感。他的身旁站著老韓丶梁誌遠，以及追光設備團隊的五個核心工程師。
今天是追光設備小改型驗證的關鍵節點。張京京的團隊花了六周時間，設計了一套不改變腔體結構丶隻更換內構件材料和塗層的方案。目標很明確——把追光三期主腔體關鍵內構件的壽命從八百小時延長到一千五百小時以上，撐過追光四期量產線投產前的六個月過渡期。
小改型的核心是兩個技術方向。第一，內構件材料從原來的鋁合金換成高溫合金，耐腐蝕性和抗熱疲勞性能更好。第二，表麵塗層從原來的單一氧化鋁塗層換成多層複合塗層——氧化鋁打底，中間是氮化鈦，表麵是類金剛石。三層塗層的總厚度隻有兩微米，但硬度和耐腐蝕性比原來提升了三倍。
這兩項改動，在實驗室環境下已經驗證過了。高溫合金試樣在模擬工藝環境中連續運行了兩千小時，表麵幾乎沒有腐蝕。複合塗層試樣的硬度測試達到了二十五吉帕，是原來塗層的兩倍多。
但實驗室驗證和產線驗證是兩回事。實驗室的條件是理想化的——氣體純度百分之一百，溫度波動正負零點五度，沒有震動，沒有人為操作失誤。而產線的真實環境要惡劣得多——氣體純度會有波動，溫度會有漂移，設備會有震動，操作工的水平也參差不齊。
所以，張京京必須在追光三期的真實產線上，跑一批測試晶圓，用實際數據證明小改型方案的有效性。
「張總，第七號產線已經準備好了。主腔體的內構件全部換成了高溫合金加複合塗層，真空泵丶加熱器丶質量流量控製器都做了校準。按照你的要求，我們準備了兩百片測試晶圓，同一批次，同一規格。」老韓指著產線控製室裏的監控屏幕，上麵顯示著設備的所有關鍵參數。
張京京站起來，把手中的內構件遞給旁邊的工程師。「裝回去。我們十點整啟動第一批測試，連續跑一百個小時，中途不停機。每十個小時取一次樣，測量膜厚均勻性丶顆粒度丶以及內構件的表麵狀態。」
梁誌遠通過視頻連線接入，他的畫麵顯示在新加坡服務中心的會議室裏。「張京京，追光mini的小改型驗證，能不能和追光三期同步？追光mini的腔體結構和追光三期類似，隻是尺寸小一號。如果追光三期的驗證通過，追光mini可以直接複用方案。」
張京京想了想，說:「可以。但追光mini的主腔體材料不同，用的是不鏽鋼而不是鋁合金。複合塗層在不鏽鋼上的附著力，需要單獨驗證。你寄兩台追光mini的腔體組件回來，我們在合城的實驗室做塗層，然後在追光三期上跑驗證。追光三期的腔體大，放得下追光mini的組件。」
梁誌遠點頭。「好。我明天就寄。」
會議簡短，所有人各就各位。張京京走進產線控製室，在一台監控終端前坐下。屏幕上顯示著第七號產線的實時狀態——腔體真空度一點五帕，溫度三百五十度，氣體流量每分鍾兩百毫升，所有參數都在規格範圍內。
「啟動。」張京京對著對講機說。
產線操作員按下啟動按鈕。機械臂開始運轉，一片晶圓被送入負載腔，經過傳輸腔，進入主腔體。主腔體內的等離子體在高壓下點燃，發出暗紫色的光芒。沉積過程持續了四分鍾，晶圓被送出來，表麵鍍上了一層均勻的薄膜。
第一片晶圓出來了。張京京親自走到出片口，用戴著手套的手接過晶圓盒，送到旁邊的測試間。測試間裏有一台橢偏儀，用來測量薄膜的厚度和均勻性。
他把晶圓放在載物台上，關上測試艙門。儀器自動掃描，幾秒鍾後，屏幕上顯示出了結果。
薄膜厚度一百零二納米，目標厚度一百納米，偏差百分之二。膜厚均勻性百分之零點八五，比追光三期原來的百分之一點五好了將近一半。
張京京盯著屏幕，沒有說話。旁邊的工程師們屏住了呼吸。
「均勻性百分之零點八五，比目標百分之一還好。第一片就這麽好，說明塗層的均勻沉積能力很強。」張京京終於開口，語氣裏帶著一絲壓抑的興奮。「但這才第一片，不能高興太早。繼續跑，每十片測一次。」
產線繼續運轉。機械臂不知疲倦地把晶圓送進送出，暗紫色的等離子體在主腔體裏持續燃燒。控製室裏的工程師們盯著監控屏幕，記錄著每一個參數的變化。
十個小時後，第十片晶圓出來了。均勻性百分之零點八八，略高於第一片，但仍在規格內。
二十個小時後，第二十片晶圓。均勻性百分之零點九一。
三十個小時。百分之零點九五。
今天是追光設備小改型驗證的關鍵節點。張京京的團隊花了六周時間，設計了一套不改變腔體結構丶隻更換內構件材料和塗層的方案。目標很明確——把追光三期主腔體關鍵內構件的壽命從八百小時延長到一千五百小時以上，撐過追光四期量產線投產前的六個月過渡期。
小改型的核心是兩個技術方向。第一，內構件材料從原來的鋁合金換成高溫合金，耐腐蝕性和抗熱疲勞性能更好。第二，表麵塗層從原來的單一氧化鋁塗層換成多層複合塗層——氧化鋁打底，中間是氮化鈦，表麵是類金剛石。三層塗層的總厚度隻有兩微米，但硬度和耐腐蝕性比原來提升了三倍。
這兩項改動，在實驗室環境下已經驗證過了。高溫合金試樣在模擬工藝環境中連續運行了兩千小時，表麵幾乎沒有腐蝕。複合塗層試樣的硬度測試達到了二十五吉帕，是原來塗層的兩倍多。
但實驗室驗證和產線驗證是兩回事。實驗室的條件是理想化的——氣體純度百分之一百，溫度波動正負零點五度，沒有震動，沒有人為操作失誤。而產線的真實環境要惡劣得多——氣體純度會有波動，溫度會有漂移，設備會有震動，操作工的水平也參差不齊。
所以，張京京必須在追光三期的真實產線上，跑一批測試晶圓，用實際數據證明小改型方案的有效性。
「張總，第七號產線已經準備好了。主腔體的內構件全部換成了高溫合金加複合塗層，真空泵丶加熱器丶質量流量控製器都做了校準。按照你的要求，我們準備了兩百片測試晶圓，同一批次，同一規格。」老韓指著產線控製室裏的監控屏幕，上麵顯示著設備的所有關鍵參數。
張京京站起來，把手中的內構件遞給旁邊的工程師。「裝回去。我們十點整啟動第一批測試，連續跑一百個小時，中途不停機。每十個小時取一次樣，測量膜厚均勻性丶顆粒度丶以及內構件的表麵狀態。」
梁誌遠通過視頻連線接入，他的畫麵顯示在新加坡服務中心的會議室裏。「張京京，追光mini的小改型驗證，能不能和追光三期同步？追光mini的腔體結構和追光三期類似，隻是尺寸小一號。如果追光三期的驗證通過，追光mini可以直接複用方案。」
張京京想了想，說:「可以。但追光mini的主腔體材料不同，用的是不鏽鋼而不是鋁合金。複合塗層在不鏽鋼上的附著力，需要單獨驗證。你寄兩台追光mini的腔體組件回來，我們在合城的實驗室做塗層，然後在追光三期上跑驗證。追光三期的腔體大，放得下追光mini的組件。」
梁誌遠點頭。「好。我明天就寄。」
會議簡短，所有人各就各位。張京京走進產線控製室，在一台監控終端前坐下。屏幕上顯示著第七號產線的實時狀態——腔體真空度一點五帕，溫度三百五十度，氣體流量每分鍾兩百毫升，所有參數都在規格範圍內。
「啟動。」張京京對著對講機說。
產線操作員按下啟動按鈕。機械臂開始運轉，一片晶圓被送入負載腔，經過傳輸腔，進入主腔體。主腔體內的等離子體在高壓下點燃，發出暗紫色的光芒。沉積過程持續了四分鍾，晶圓被送出來，表麵鍍上了一層均勻的薄膜。
第一片晶圓出來了。張京京親自走到出片口，用戴著手套的手接過晶圓盒，送到旁邊的測試間。測試間裏有一台橢偏儀，用來測量薄膜的厚度和均勻性。
他把晶圓放在載物台上，關上測試艙門。儀器自動掃描，幾秒鍾後，屏幕上顯示出了結果。
薄膜厚度一百零二納米，目標厚度一百納米，偏差百分之二。膜厚均勻性百分之零點八五，比追光三期原來的百分之一點五好了將近一半。
張京京盯著屏幕，沒有說話。旁邊的工程師們屏住了呼吸。
「均勻性百分之零點八五，比目標百分之一還好。第一片就這麽好，說明塗層的均勻沉積能力很強。」張京京終於開口，語氣裏帶著一絲壓抑的興奮。「但這才第一片，不能高興太早。繼續跑，每十片測一次。」
產線繼續運轉。機械臂不知疲倦地把晶圓送進送出，暗紫色的等離子體在主腔體裏持續燃燒。控製室裏的工程師們盯著監控屏幕，記錄著每一個參數的變化。
十個小時後，第十片晶圓出來了。均勻性百分之零點八八，略高於第一片，但仍在規格內。
二十個小時後，第二十片晶圓。均勻性百分之零點九一。
三十個小時。百分之零點九五。