第440章 光波沒有摩擦力
直播1980：網友教我手搓火箭 作者：靈台三心 投票推薦 加入書簽 留言反饋
第440章光波沒有摩擦力
四月中旬，吉省長光所。
地下實驗室的無塵室外，王老的團隊已經連軸轉了兩天兩夜。
玻璃窗內，一組從櫻花國弄回來的日產光學物鏡被拆成了幾十個編號部件。
鏡片、隔圈、壓環、鍍膜樣片，全都鋪在防靜電墊上。
每一個動作都慢得要命。
因為這玩意兒不是普通鏡頭。
它關係到光刻機能不能從現有水平，往1.5微米製程上再邁一步。
林希站在玻璃窗外，看著裏麵的進度。
這時，江俊拿著一份資料冊快步走了過來。
“林經理。”
他的聲音比三年前穩了太多。
三年前，江俊站在林希麵前時，背是塌的，手裏攥著女兒的病曆。
現在，他白大褂袖口卷到小臂，資料冊夾在胳膊下，開口第一句就是工藝參數。
“光刻機要升級到1.5微米製程，光有鏡頭不夠。”
江俊翻開工藝資料冊，指著設計圖上的對齊位。
“1.5微米線寬，上下層對齊的套刻精度，最多隻能容忍300納米誤差。”
他手指敲了敲圖紙。
“也就是說，我們的尺子，得能量出幾十納米級別的微小位移。”
江俊合上資料，語氣很沉。
“三年前搞出來的1微米精度光柵尺，已經不夠用了。”
林希點了點頭。
他很清楚，在1984年，測量工具的精度落後，就是卡死芯片製程的物理天塹。
你連工作台挪了多少都量不準，還談什麽套刻？
芯片不是靠熱血喊出來的。
每一道線，都得用精度咬出來。
“跟我來。”
江俊沒多解釋，轉身就走。
林希跟著他推開走廊盡頭一間獨立實驗室的門。
屋裏溫度比外麵低，牆角的除濕機一直在響。
光學平台四周拉著黑色遮光簾，地麵上連腳印都很少。
江俊走到一張光學平台前，手指搭在防靜電黑布邊緣，停了半秒。
那動作不像揭布。
更像是掀開自己三年心血的蓋頭。
他一把拉開黑布。
光學平台上，一台半米長的金屬設備安安靜靜躺著。
結構緊湊，反光鏡組排布複雜，鋁合金外殼擦得發亮。側麵貼著一張手寫標簽。
cq-1型雙頻氦氖激光幹涉儀。
林希蹲下來，繞著看了一圈。
“跑通了？”
“跑通了。”
江俊回答得很穩。
但他握著黑布的手一直沒鬆，指腹壓得發白。
“林經理，三年前你給我批無上限預算，把激光幹涉儀的活兒交給我，那時候我心裏沒有底。”
“一微米精度，難，但路是通的。”
“刻劃機精度往上堆，材料往上磨，工人手藝往死裏練，總能磨出來。”
他頓了頓。
“但一微米基本就是機械測量的天花板了。”
“機械結構有摩擦，有熱脹冷縮，有震動。刻劃刀再鋒利，也是鐵碰鐵。”
“這三樣東西消不掉，精度就上不去。”
江俊站起來，走到黑板前。
他沒畫複雜圖紙，隻寫了一行字。
光波沒有摩擦力。
林希看著那七個字，目光微微一頓。
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江俊轉過身。
“前年，我把光柵尺項目結題報告交上去之後，就開始琢磨這條路。”
“氦氖激光器波長632.8納米，穩定，單色性好，天生就是一把尺子。”
“兩束光一幹涉，條紋移動半個周期，就是316.4納米。”
“數條紋，就能量位移。”
他說到這裏，聲音壓低。
“道理不難。”
“難的是，這把尺子自己不能抖。”
“激光器剛點亮時，頻率會漂。”
“溫度變一點，腔長變一點，頻率就跟著跑。”
“你拿一把自己都在哆嗦的尺子去量東西，量出來的數，誰敢信？”
江俊語速快了起來。
“我試了十一種穩頻方案。”
“前十種，全廢。”
“燒了六根激光管，炸了兩塊分光鏡。”
“有一次反射鏡崩了，碎片直接釘進防護板裏。”
他抬手拍了拍那台設備，動作很輕。
“上個月，第十一種方案終於跑通了。”
“塞曼效應分裂雙頻，再加熱敏電阻反饋環路，把腔長鎖住。”
這一次，他沒有再多解釋。
他走到設備旁邊，按下側麵的綠色電源鍵。
一束極細的紅色激光射出。
光束經過分光棱鏡，分成兩路，打在測試導軌的反光鏡上。
光路盡頭，電子探測器上的綠色數字瞬間開始跳動。
快得像亂了套。
江俊沒說話。
林希也沒說話。
兩人一起盯著屏幕。
十秒。
二十秒。
三十秒。
數字慢了下來。
最後，尾數穩住了。
江俊這才轉頭看向林希。
他臉上沒有笑，隻有三年熬出來的篤定。
“工作台位移分辨率，15納米。”
“也就是0.015微米。”
“重複定位精度，正負20納米以內。”
他指了指玻璃窗外的無塵室方向。
“1.5微米線寬，套刻容差300納米。”
“隻要控製係統跟得上，我這把尺子，能把工作台誤差壓進安全線以內。”
林希盯著探測器上紋絲不動的尾數，沉默了好幾秒。
然後，他長長吐出一口氣。
腦海裏，透明的直播間屏幕上，彈幕直接炸了。
【臥槽！15納米！1984年的國產激光幹涉儀！】
【這不是造設備，這是把時間線往前硬拽了十幾年！】
【光刻機以前是摸黑走路，現在等於開了高精度導航！】
【江俊真牛啊！三年前救女兒，三年後給國家造出一把納米尺！】
【這把尺子一出，32位芯片的物理底座穩了一半！】
林希站起來，走到江俊麵前。
他沒說漂亮話，隻是鄭重伸出手，用力握了一下。
江俊被他攥得手指發疼，忍不住咧嘴。
“林經理，輕點。”
“我還得用這手調光路呢。”
林希看著他，重重點頭。
“江工，辛苦了。”
“這把尺子，是咱們衝擊32位芯片最硬的底牌。”
……
四月中旬，吉省長光所。
地下實驗室的無塵室外，王老的團隊已經連軸轉了兩天兩夜。
玻璃窗內，一組從櫻花國弄回來的日產光學物鏡被拆成了幾十個編號部件。
鏡片、隔圈、壓環、鍍膜樣片，全都鋪在防靜電墊上。
每一個動作都慢得要命。
因為這玩意兒不是普通鏡頭。
它關係到光刻機能不能從現有水平，往1.5微米製程上再邁一步。
林希站在玻璃窗外，看著裏麵的進度。
這時，江俊拿著一份資料冊快步走了過來。
“林經理。”
他的聲音比三年前穩了太多。
三年前，江俊站在林希麵前時，背是塌的，手裏攥著女兒的病曆。
現在，他白大褂袖口卷到小臂，資料冊夾在胳膊下，開口第一句就是工藝參數。
“光刻機要升級到1.5微米製程，光有鏡頭不夠。”
江俊翻開工藝資料冊，指著設計圖上的對齊位。
“1.5微米線寬，上下層對齊的套刻精度，最多隻能容忍300納米誤差。”
他手指敲了敲圖紙。
“也就是說，我們的尺子，得能量出幾十納米級別的微小位移。”
江俊合上資料，語氣很沉。
“三年前搞出來的1微米精度光柵尺，已經不夠用了。”
林希點了點頭。
他很清楚，在1984年，測量工具的精度落後，就是卡死芯片製程的物理天塹。
你連工作台挪了多少都量不準，還談什麽套刻？
芯片不是靠熱血喊出來的。
每一道線，都得用精度咬出來。
“跟我來。”
江俊沒多解釋，轉身就走。
林希跟著他推開走廊盡頭一間獨立實驗室的門。
屋裏溫度比外麵低，牆角的除濕機一直在響。
光學平台四周拉著黑色遮光簾，地麵上連腳印都很少。
江俊走到一張光學平台前，手指搭在防靜電黑布邊緣，停了半秒。
那動作不像揭布。
更像是掀開自己三年心血的蓋頭。
他一把拉開黑布。
光學平台上，一台半米長的金屬設備安安靜靜躺著。
結構緊湊，反光鏡組排布複雜，鋁合金外殼擦得發亮。側麵貼著一張手寫標簽。
cq-1型雙頻氦氖激光幹涉儀。
林希蹲下來，繞著看了一圈。
“跑通了？”
“跑通了。”
江俊回答得很穩。
但他握著黑布的手一直沒鬆，指腹壓得發白。
“林經理，三年前你給我批無上限預算，把激光幹涉儀的活兒交給我，那時候我心裏沒有底。”
“一微米精度，難，但路是通的。”
“刻劃機精度往上堆，材料往上磨，工人手藝往死裏練，總能磨出來。”
他頓了頓。
“但一微米基本就是機械測量的天花板了。”
“機械結構有摩擦，有熱脹冷縮，有震動。刻劃刀再鋒利，也是鐵碰鐵。”
“這三樣東西消不掉，精度就上不去。”
江俊站起來，走到黑板前。
他沒畫複雜圖紙，隻寫了一行字。
光波沒有摩擦力。
林希看著那七個字，目光微微一頓。
（本章未完，請點擊下一頁繼續閱讀）第440章光波沒有摩擦力(第2/2頁)
江俊轉過身。
“前年，我把光柵尺項目結題報告交上去之後，就開始琢磨這條路。”
“氦氖激光器波長632.8納米，穩定，單色性好，天生就是一把尺子。”
“兩束光一幹涉，條紋移動半個周期，就是316.4納米。”
“數條紋，就能量位移。”
他說到這裏，聲音壓低。
“道理不難。”
“難的是，這把尺子自己不能抖。”
“激光器剛點亮時，頻率會漂。”
“溫度變一點，腔長變一點，頻率就跟著跑。”
“你拿一把自己都在哆嗦的尺子去量東西，量出來的數，誰敢信？”
江俊語速快了起來。
“我試了十一種穩頻方案。”
“前十種，全廢。”
“燒了六根激光管，炸了兩塊分光鏡。”
“有一次反射鏡崩了，碎片直接釘進防護板裏。”
他抬手拍了拍那台設備，動作很輕。
“上個月，第十一種方案終於跑通了。”
“塞曼效應分裂雙頻，再加熱敏電阻反饋環路，把腔長鎖住。”
這一次，他沒有再多解釋。
他走到設備旁邊，按下側麵的綠色電源鍵。
一束極細的紅色激光射出。
光束經過分光棱鏡，分成兩路，打在測試導軌的反光鏡上。
光路盡頭，電子探測器上的綠色數字瞬間開始跳動。
快得像亂了套。
江俊沒說話。
林希也沒說話。
兩人一起盯著屏幕。
十秒。
二十秒。
三十秒。
數字慢了下來。
最後，尾數穩住了。
江俊這才轉頭看向林希。
他臉上沒有笑，隻有三年熬出來的篤定。
“工作台位移分辨率，15納米。”
“也就是0.015微米。”
“重複定位精度，正負20納米以內。”
他指了指玻璃窗外的無塵室方向。
“1.5微米線寬，套刻容差300納米。”
“隻要控製係統跟得上，我這把尺子，能把工作台誤差壓進安全線以內。”
林希盯著探測器上紋絲不動的尾數，沉默了好幾秒。
然後，他長長吐出一口氣。
腦海裏，透明的直播間屏幕上，彈幕直接炸了。
【臥槽！15納米！1984年的國產激光幹涉儀！】
【這不是造設備，這是把時間線往前硬拽了十幾年！】
【光刻機以前是摸黑走路，現在等於開了高精度導航！】
【江俊真牛啊！三年前救女兒，三年後給國家造出一把納米尺！】
【這把尺子一出，32位芯片的物理底座穩了一半！】
林希站起來，走到江俊麵前。
他沒說漂亮話，隻是鄭重伸出手，用力握了一下。
江俊被他攥得手指發疼，忍不住咧嘴。
“林經理，輕點。”
“我還得用這手調光路呢。”
林希看著他，重重點頭。
“江工，辛苦了。”
“這把尺子，是咱們衝擊32位芯片最硬的底牌。”
……