第331章 流片成功！
直播1980：網友教我手搓火箭 作者：靈台三心 投票推薦 加入書簽 留言反饋
第331章流片成功！
......
第七天。
淩晨兩點零三分。
帝都的夜很安靜。
中關村的路燈壞了兩盞，沒人修。
地下室裏，vax-11的風扇嗡嗡地轉。
司徒淵敲下最後一個回車鍵。
仿真程序運行了五十一分鍾。
屏幕上的代碼，像瀑布一樣狂泄。
三個人誰都沒坐。
張秉謙站在屏幕左側，老花鏡推到了額頭上，反而不戴了。
林希站在右側，雙手插在褲兜裏。
司徒淵站在正中間，手搭在鍵盤邊框上，指甲蓋發白。
瀑布停止。
最後三行。
全是悅目的純綠色。
`isabustiming:passed`
`alltimingconstraints:met`
`totalvitions:0`
張秉謙摘下額頭上的老花鏡。
他沒喊，沒笑。
他把眼鏡折好，小心翼翼地放進胸口的口袋裏。
然後他蹲了下去。
蹲在冰涼的瓷磚地麵上，雙手捂住了臉。
肩膀在抖。
沒有聲音。
林希轉過頭，不去看他。
司徒淵也轉過頭。
去看那台冰箱大小的機器。
米白色的外殼上，dec的標誌在地下室的日光燈管下反著光。
他盯著那個標誌看了幾秒。
然後伸出手，輕輕地拍了拍機箱外殼。
“謝了。”他用英語說。
聲音很輕。
直播間安靜了整整八秒。
然後彈幕像潮水一樣湧上來。
【零違規！！！全部通過！！！】
【七天！三個人幹了別人一個團隊半年的活！】
【張工那雙膝蓋上的白印到底磨掉了幾層皮啊】
【不說了，眼睛進沙子了】
......
從中關村的地下室，到津門二廠的轟鳴。
短短幾天，猶如跨越了一個時代。
七月一號。
津門無線電二廠。
矽基產線全速開動。
這是gk-3光刻機浴火重生後的第一次實彈操演。
陳默親自操機，手指搭在對焦旋鈕上，眼睛貼著目鏡。
光柵尺的數字跳動，伺服電機精準補償每一個微米的誤差。
曝光。
顯影。
矽片上的線條清晰銳利，邊緣筆直。
刻蝕環節，boe槽液控溫穩定在三十五度。
第一批矽片過檢，溝槽完美。
陳默回頭衝林希豎了個大拇指。
直到離子注入。
長安771所支援的國產離子注入機是十年前的老型號。
蘇佩蘭和王鐵山兩個老師傅在機器旁邊守了一天一夜，反複調整參數。
打出來的矽片，送到顯微鏡下一看。
摻雜深度分布不均勻。
有的區域深了，有的區域淺了。
像一塊沒發好的麵，有些地方鼓著，有些地方癟著。
直接後果：芯片漏電。
測試探針紮下去，電流一路跑偏，根本鎖不住。
蘇佩蘭試了七組參數，全部失敗。
“機器太老了。”
她摘下防塵麵罩，額頭上全是汗。
“束流不穩，真空也拉不到位。”
車間裏的氣氛沉下去了。
光刻過了，刻蝕過了，偏偏倒在了最基礎的摻雜上。
林希站在注入機旁邊，手扶著冰涼的金屬外殼。
他閉上眼睛。
腦海中，直播間的彈幕已經開始翻湧。
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【離子注入！關鍵參數來了！！！】
【我查了771所這批機器的資料——核心問題是束流電流太低導致注入時間過長，矽片在真空腔裏受熱不均勻！】
【解法很簡單但很反直覺——把束流電流提上去！10ma！加速電壓拉到50kev！讓注入時間縮短，減少熱積累！】
【最關鍵的一步：真空度！必須拉到10的負5次方帕斯卡！不然殘餘氣體會和離子束發生散射，雜質分布肯定不均勻！】
【對！這台老機器的分子泵其實能達到這個真空度，但出廠預設太保守了，得手動調旁通閥把抽速拉滿！】
林希睜開眼。
“蘇師傅。”
蘇佩蘭回頭。
“束流電流調到10毫安。”
“加速電壓拉到50千電子伏特。”
蘇佩蘭愣了一下。
“電流10毫安？”
“這台機器設計上限才8……”
“旁通閥全開，把真空度拉到10的負5次方帕。”
林希的聲音很穩，
“抽速夠了以後，束流不會散。”
蘇佩蘭看了看旁邊的王鐵山。
王鐵山沉默了幾秒，走到機器後麵。
蹲下去看了看分子泵的參數銘牌。
“能拉到。”
他直起腰，
“負5次方沒問題，就是沒人敢這麽用。”
“那就用。”林希說。
王鐵山沒再猶豫。
他抱著扳手繞到機器背麵，擰開旁通閥。
蘇佩蘭深吸一口氣，坐回操作台。
束流電流：10ma。
加速電壓：50kev。
真空度讀數開始往下掉。
10的負3次方。
負4次方。
分子泵的聲音變得尖銳。
負5次方。
穩住了。
“注入。”林希說。
蘇佩蘭按下啟動鍵。
機器轟鳴聲驟然變調，像一頭沉睡的野獸被喚醒。
離子束擊中矽片表麵。
六十秒。
一百二十秒。
注入結束。
蘇佩蘭取出矽片，雙手端著，走到顯微鏡前。
車間裏所有人的呼吸都停了。
她把矽片放上載物台，調焦。
看了三秒。
又調了一下倍率。
再看了五秒。
她抬起頭。
嘴唇哆嗦了兩下。
“均勻的。”
她的聲音帶著哭腔。
“深度完全一致。”
王鐵山衝過去，把她從椅子上擠開，自己趴到目鏡上看。
看完，他直起腰，一屁股坐在了地上。
“成了。”
兩個字。
直播間彈幕徹底爆炸。
【流片成功！！！華國矽基芯片流片成功了！！！】
【1983年！自主光刻機+自主離子注入！流片流程打通！】
【這幫老師傅是真的牛，參數給到位了，手上的活一點不含糊】
【哭了哭了，跪在地上畫版圖，趴在機器前調參數，這就是華國芯片的第一步】
林希站在車間中央。
周圍是沸騰的歡呼聲。
林希轉頭看向窗外。
七月底的津門，太陽正落。
晚霞把整個二廠的廠房染成暗紅色。
司徒淵不知道什麽時候走到他旁邊。
兩人並排站著，看著窗外。
“林總。”司徒淵開口。
“嗯。”
“流片成功了，但這隻是工程樣片。”
司徒淵推了推眼鏡。
“量產之前，還差最後一步，”
“封裝，測試。”
......
第七天。
淩晨兩點零三分。
帝都的夜很安靜。
中關村的路燈壞了兩盞，沒人修。
地下室裏，vax-11的風扇嗡嗡地轉。
司徒淵敲下最後一個回車鍵。
仿真程序運行了五十一分鍾。
屏幕上的代碼，像瀑布一樣狂泄。
三個人誰都沒坐。
張秉謙站在屏幕左側，老花鏡推到了額頭上，反而不戴了。
林希站在右側，雙手插在褲兜裏。
司徒淵站在正中間，手搭在鍵盤邊框上，指甲蓋發白。
瀑布停止。
最後三行。
全是悅目的純綠色。
`isabustiming:passed`
`alltimingconstraints:met`
`totalvitions:0`
張秉謙摘下額頭上的老花鏡。
他沒喊，沒笑。
他把眼鏡折好，小心翼翼地放進胸口的口袋裏。
然後他蹲了下去。
蹲在冰涼的瓷磚地麵上，雙手捂住了臉。
肩膀在抖。
沒有聲音。
林希轉過頭，不去看他。
司徒淵也轉過頭。
去看那台冰箱大小的機器。
米白色的外殼上，dec的標誌在地下室的日光燈管下反著光。
他盯著那個標誌看了幾秒。
然後伸出手，輕輕地拍了拍機箱外殼。
“謝了。”他用英語說。
聲音很輕。
直播間安靜了整整八秒。
然後彈幕像潮水一樣湧上來。
【零違規！！！全部通過！！！】
【七天！三個人幹了別人一個團隊半年的活！】
【張工那雙膝蓋上的白印到底磨掉了幾層皮啊】
【不說了，眼睛進沙子了】
......
從中關村的地下室，到津門二廠的轟鳴。
短短幾天，猶如跨越了一個時代。
七月一號。
津門無線電二廠。
矽基產線全速開動。
這是gk-3光刻機浴火重生後的第一次實彈操演。
陳默親自操機，手指搭在對焦旋鈕上，眼睛貼著目鏡。
光柵尺的數字跳動，伺服電機精準補償每一個微米的誤差。
曝光。
顯影。
矽片上的線條清晰銳利，邊緣筆直。
刻蝕環節，boe槽液控溫穩定在三十五度。
第一批矽片過檢，溝槽完美。
陳默回頭衝林希豎了個大拇指。
直到離子注入。
長安771所支援的國產離子注入機是十年前的老型號。
蘇佩蘭和王鐵山兩個老師傅在機器旁邊守了一天一夜，反複調整參數。
打出來的矽片，送到顯微鏡下一看。
摻雜深度分布不均勻。
有的區域深了，有的區域淺了。
像一塊沒發好的麵，有些地方鼓著，有些地方癟著。
直接後果：芯片漏電。
測試探針紮下去，電流一路跑偏，根本鎖不住。
蘇佩蘭試了七組參數，全部失敗。
“機器太老了。”
她摘下防塵麵罩，額頭上全是汗。
“束流不穩，真空也拉不到位。”
車間裏的氣氛沉下去了。
光刻過了，刻蝕過了，偏偏倒在了最基礎的摻雜上。
林希站在注入機旁邊，手扶著冰涼的金屬外殼。
他閉上眼睛。
腦海中，直播間的彈幕已經開始翻湧。
（本章未完，請點擊下一頁繼續閱讀）第331章流片成功！(第2/2頁)
【離子注入！關鍵參數來了！！！】
【我查了771所這批機器的資料——核心問題是束流電流太低導致注入時間過長，矽片在真空腔裏受熱不均勻！】
【解法很簡單但很反直覺——把束流電流提上去！10ma！加速電壓拉到50kev！讓注入時間縮短，減少熱積累！】
【最關鍵的一步：真空度！必須拉到10的負5次方帕斯卡！不然殘餘氣體會和離子束發生散射，雜質分布肯定不均勻！】
【對！這台老機器的分子泵其實能達到這個真空度，但出廠預設太保守了，得手動調旁通閥把抽速拉滿！】
林希睜開眼。
“蘇師傅。”
蘇佩蘭回頭。
“束流電流調到10毫安。”
“加速電壓拉到50千電子伏特。”
蘇佩蘭愣了一下。
“電流10毫安？”
“這台機器設計上限才8……”
“旁通閥全開，把真空度拉到10的負5次方帕。”
林希的聲音很穩，
“抽速夠了以後，束流不會散。”
蘇佩蘭看了看旁邊的王鐵山。
王鐵山沉默了幾秒，走到機器後麵。
蹲下去看了看分子泵的參數銘牌。
“能拉到。”
他直起腰，
“負5次方沒問題，就是沒人敢這麽用。”
“那就用。”林希說。
王鐵山沒再猶豫。
他抱著扳手繞到機器背麵，擰開旁通閥。
蘇佩蘭深吸一口氣，坐回操作台。
束流電流：10ma。
加速電壓：50kev。
真空度讀數開始往下掉。
10的負3次方。
負4次方。
分子泵的聲音變得尖銳。
負5次方。
穩住了。
“注入。”林希說。
蘇佩蘭按下啟動鍵。
機器轟鳴聲驟然變調，像一頭沉睡的野獸被喚醒。
離子束擊中矽片表麵。
六十秒。
一百二十秒。
注入結束。
蘇佩蘭取出矽片，雙手端著，走到顯微鏡前。
車間裏所有人的呼吸都停了。
她把矽片放上載物台，調焦。
看了三秒。
又調了一下倍率。
再看了五秒。
她抬起頭。
嘴唇哆嗦了兩下。
“均勻的。”
她的聲音帶著哭腔。
“深度完全一致。”
王鐵山衝過去，把她從椅子上擠開，自己趴到目鏡上看。
看完，他直起腰，一屁股坐在了地上。
“成了。”
兩個字。
直播間彈幕徹底爆炸。
【流片成功！！！華國矽基芯片流片成功了！！！】
【1983年！自主光刻機+自主離子注入！流片流程打通！】
【這幫老師傅是真的牛，參數給到位了，手上的活一點不含糊】
【哭了哭了，跪在地上畫版圖，趴在機器前調參數，這就是華國芯片的第一步】
林希站在車間中央。
周圍是沸騰的歡呼聲。
林希轉頭看向窗外。
七月底的津門，太陽正落。
晚霞把整個二廠的廠房染成暗紅色。
司徒淵不知道什麽時候走到他旁邊。
兩人並排站著，看著窗外。
“林總。”司徒淵開口。
“嗯。”
“流片成功了，但這隻是工程樣片。”
司徒淵推了推眼鏡。
“量產之前，還差最後一步，”
“封裝，測試。”