第三千一百三十七章關鍵的pas5500
“你想說台積電火災那次是吧？”
“是啊，台積電誕生時是台島工研院和飛利浦的合資公司。在台積電裏，飛利浦占27.5%股分，是最大外部股東。因此飛利浦才會毫無保留地把mega生產線開放給台積電學習，然後再原封不動地把整條生產線搬到台灣給台積電。”
“意外的是88年底新生產線快裝好的時候發生了火災。台積電把所有被煙熏了的光刻機退回asml，重新下了十七台新機的訂單。asml剛好非常缺錢，這些訂單在關鍵時刻救了急。而為火災買單的保險公司成了asml1989年最大的客戶，讓asml第一次實現盈利。”胡長風說道：“所以說命好有時候也是一種能力。”
“哈哈哈，再後來就是1992年，飛利浦來大陸了。”
“這個我就太熟悉了。”胡長風說道：“當時滬上元件五廠、上無七廠和上無十九廠與飛利浦公司洽談合資，成立了滬上飛利浦半導體公司，在漕河涇建成我國第一條5英寸foundry線。打破了我國沒有foundry線的曆史。這個事情當時就是我主抓。”
“說起來也是可恨，當時我們也想引進pas2500來著，但是單線500萬美金的價格，實在是太高了，加上我們當時根本就沒有配套的6英寸晶圓生產能力，最後不得不選擇已經處於淘汰邊緣的5英寸線。”說起創業史，胡長風除了唏噓還是唏噓。
“5英寸也很不錯了，雖然做不了超大，但是起碼解決了lsi生產的問題，為我們的存儲芯片事業打下了堅實基礎。”周至笑道：“現在金融業和各個單位嚐到了甜頭，國內各類存儲卡的需求激增，那條線現在都忙不過來了吧？”
“嗯，接下來，就該是從六英寸過渡到八英寸的那一關而來吧？”胡長風說道：“我們的809工程，其核心就是引進一條八英寸芯片生產線。結果差點栽到裏頭。”
“也不能完全怪決策。”周至到現在倒是想明白了：“當年這個項目出問題，還有一個重要原因，那就是後續的投資沒有跟上，ibm為這個生產線，可是豪砸了10億美金，而我們一國的外匯儲備，前年也才百億美元，真沒多餘的錢做後續。”
“好在是熬過來了。”胡長風說道：“順便還給產品升了個級，沒被國際水平甩開太遠。”
“對，獲得八英寸晶圓生產線是關鍵。”周至說道：“有了這個基礎，我們引進三星產品線和鬆下閃存技術，進行存儲芯片生產才有了可能。不過在光刻機領域，日係的運氣就不如歐係了。”
“從6英寸製程過渡到8英寸的過程中，從g線到i線的技術演進中，兩家日本公司犯了一個錯誤。尼康和佳能計劃跳過365nm的i線，直接從465nm的g線過渡到krf的248nm的激光。”
“這是一個無比超前的計劃，如果成功，光刻機將直接進入duv時代。”
“不過他們低估了duv的技術難度。兩家公司的設備無法順利通過測試，體積和耗能均非常大，而且沒有對應的duv光刻膠，最終被迫回頭，重啟365nm的i線設備研發。”
“而asml卻穩紮穩打，他們繼續研發了基於i線光源的pas5500光刻機，但是將涉及架構更換成了可以改進的新機器架構。”
“這個架構的設計非常靈活，鏡頭和光源可以快速更換，先期匹配高分辨率i線光源，後期再匹配duv鏡頭的krf激光器，一舉取得了先發優勢。”
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“在晶圓台研發上，pas5500也沒有一開始就決定到底是使用h型晶圓台，還是長短衝程發動機。而是同樣保留了兩路適配架構，這是意義非常的方法。”
“pas5500這種模塊化設計使得客戶可以根據不同工藝隨意選配不同部件包，可以涵蓋了i線和krf各種光源，4到12英寸各種晶圓尺寸，i線和krf各種鏡頭，stepper和scanner各種投影模式。成了所有芯片製造商的夢中情機！”
“你的意思，是我們也要像三星和台積電那樣，大量進口這款光刻機？pas5500現在一台多少錢？”
“pas5500現在的子型號太多，價格可以從500萬美元到700萬美元不等。”周至說道：“如果要兼顧我們產業在未來的發展我們需要配置適合加工6英寸，8英寸，12英寸晶圓，光源和鏡頭適配465nm的g線，365nm的i線和248nm的krf三種光源的光刻機。”
“同時我們還得要求飛利浦公司按照對待台積電的標準，對我們開放mega生產線的技術學習。”周至說道：“為我們未來自主設計和生產做好準備。”
“三種晶圓，三種光源，三種鏡頭，組合一下，一樣一套都是9套。”胡長風沉吟道：“你的意思我能夠明白，我們家底薄，5英寸6英寸的生產線，不可能在引進完8英寸，未來還可能引進12英寸後就不用了，未來國內的中低端芯片，還得依靠中低端光刻機負責生產，起碼二三十年都不會淘汰。不過你說的krf光源，鬼子都沒搞出來的東西，我們現在的能力，做得到嗎？”
“沒辦法，總要自己做的，而且我們還必須盡快做。”周至說道：“隨著國際局勢的變化，瓦森納協定就如懸在我們頭頂的一把利劍，遲早會掉落下來的。我們必須在別人卡脖子之前，趁現在還有未關上的窗口，抓緊完成布局！”
“即便是現在，我們要asml開放mega生產線，他們也不會乖乖聽話吧？”胡長風說道：“即便是我們決定引進幾條pas5500。”
“或許也不是太難。”周至卻露出了意味深長的微笑。
“哦？你小子是不是又有什麽招數了？”胡長風問道。
“也算是運氣吧。”周至笑道：“現在asml的最大外部股東，是安盛基金，掌握著asml百分之二十七的股份。”
“啊？什麽時候的事情？這戲法又是怎麽變出來的？”胡長風大吃一驚。
“asml的發展也不是一帆風順的，它也經曆過好幾次生死危機。”周至笑道：“asml成立於19884年，盡管脫胎於飛利浦，但是在成立之後的10年間都不曾盈利，持股的飛利浦和asm在前年都失去了信心，因為吃不消這無止境的燒錢，asm把持有的股份都賣了，還是虧了3500萬美元賣的。”
“正在信息產業領域尋找投資機會的安盛基金適時接手了，那一次，我們拿到了14%的股份。”
“asml的第二次危機是來自和蔡司的合作。蔡司本身是和肖特綁定的，重大投資必須由兩家公司一起做出決定，而蔡司當時處於虧損，完全依賴姐妹公司肖特輸血。”
“你想說台積電火災那次是吧？”
“是啊，台積電誕生時是台島工研院和飛利浦的合資公司。在台積電裏，飛利浦占27.5%股分，是最大外部股東。因此飛利浦才會毫無保留地把mega生產線開放給台積電學習，然後再原封不動地把整條生產線搬到台灣給台積電。”
“意外的是88年底新生產線快裝好的時候發生了火災。台積電把所有被煙熏了的光刻機退回asml，重新下了十七台新機的訂單。asml剛好非常缺錢，這些訂單在關鍵時刻救了急。而為火災買單的保險公司成了asml1989年最大的客戶，讓asml第一次實現盈利。”胡長風說道：“所以說命好有時候也是一種能力。”
“哈哈哈，再後來就是1992年，飛利浦來大陸了。”
“這個我就太熟悉了。”胡長風說道：“當時滬上元件五廠、上無七廠和上無十九廠與飛利浦公司洽談合資，成立了滬上飛利浦半導體公司，在漕河涇建成我國第一條5英寸foundry線。打破了我國沒有foundry線的曆史。這個事情當時就是我主抓。”
“說起來也是可恨，當時我們也想引進pas2500來著，但是單線500萬美金的價格，實在是太高了，加上我們當時根本就沒有配套的6英寸晶圓生產能力，最後不得不選擇已經處於淘汰邊緣的5英寸線。”說起創業史，胡長風除了唏噓還是唏噓。
“5英寸也很不錯了，雖然做不了超大，但是起碼解決了lsi生產的問題，為我們的存儲芯片事業打下了堅實基礎。”周至笑道：“現在金融業和各個單位嚐到了甜頭，國內各類存儲卡的需求激增，那條線現在都忙不過來了吧？”
“嗯，接下來，就該是從六英寸過渡到八英寸的那一關而來吧？”胡長風說道：“我們的809工程，其核心就是引進一條八英寸芯片生產線。結果差點栽到裏頭。”
“也不能完全怪決策。”周至到現在倒是想明白了：“當年這個項目出問題，還有一個重要原因，那就是後續的投資沒有跟上，ibm為這個生產線，可是豪砸了10億美金，而我們一國的外匯儲備，前年也才百億美元，真沒多餘的錢做後續。”
“好在是熬過來了。”胡長風說道：“順便還給產品升了個級，沒被國際水平甩開太遠。”
“對，獲得八英寸晶圓生產線是關鍵。”周至說道：“有了這個基礎，我們引進三星產品線和鬆下閃存技術，進行存儲芯片生產才有了可能。不過在光刻機領域，日係的運氣就不如歐係了。”
“從6英寸製程過渡到8英寸的過程中，從g線到i線的技術演進中，兩家日本公司犯了一個錯誤。尼康和佳能計劃跳過365nm的i線，直接從465nm的g線過渡到krf的248nm的激光。”
“這是一個無比超前的計劃，如果成功，光刻機將直接進入duv時代。”
“不過他們低估了duv的技術難度。兩家公司的設備無法順利通過測試，體積和耗能均非常大，而且沒有對應的duv光刻膠，最終被迫回頭，重啟365nm的i線設備研發。”
“而asml卻穩紮穩打，他們繼續研發了基於i線光源的pas5500光刻機，但是將涉及架構更換成了可以改進的新機器架構。”
“這個架構的設計非常靈活，鏡頭和光源可以快速更換，先期匹配高分辨率i線光源，後期再匹配duv鏡頭的krf激光器，一舉取得了先發優勢。”
（本章未完，請點擊下一頁繼續閱讀）第三千一百三十七章關鍵的pas5500(第2/2頁)
“在晶圓台研發上，pas5500也沒有一開始就決定到底是使用h型晶圓台，還是長短衝程發動機。而是同樣保留了兩路適配架構，這是意義非常的方法。”
“pas5500這種模塊化設計使得客戶可以根據不同工藝隨意選配不同部件包，可以涵蓋了i線和krf各種光源，4到12英寸各種晶圓尺寸，i線和krf各種鏡頭，stepper和scanner各種投影模式。成了所有芯片製造商的夢中情機！”
“你的意思，是我們也要像三星和台積電那樣，大量進口這款光刻機？pas5500現在一台多少錢？”
“pas5500現在的子型號太多，價格可以從500萬美元到700萬美元不等。”周至說道：“如果要兼顧我們產業在未來的發展我們需要配置適合加工6英寸，8英寸，12英寸晶圓，光源和鏡頭適配465nm的g線，365nm的i線和248nm的krf三種光源的光刻機。”
“同時我們還得要求飛利浦公司按照對待台積電的標準，對我們開放mega生產線的技術學習。”周至說道：“為我們未來自主設計和生產做好準備。”
“三種晶圓，三種光源，三種鏡頭，組合一下，一樣一套都是9套。”胡長風沉吟道：“你的意思我能夠明白，我們家底薄，5英寸6英寸的生產線，不可能在引進完8英寸，未來還可能引進12英寸後就不用了，未來國內的中低端芯片，還得依靠中低端光刻機負責生產，起碼二三十年都不會淘汰。不過你說的krf光源，鬼子都沒搞出來的東西，我們現在的能力，做得到嗎？”
“沒辦法，總要自己做的，而且我們還必須盡快做。”周至說道：“隨著國際局勢的變化，瓦森納協定就如懸在我們頭頂的一把利劍，遲早會掉落下來的。我們必須在別人卡脖子之前，趁現在還有未關上的窗口，抓緊完成布局！”
“即便是現在，我們要asml開放mega生產線，他們也不會乖乖聽話吧？”胡長風說道：“即便是我們決定引進幾條pas5500。”
“或許也不是太難。”周至卻露出了意味深長的微笑。
“哦？你小子是不是又有什麽招數了？”胡長風問道。
“也算是運氣吧。”周至笑道：“現在asml的最大外部股東，是安盛基金，掌握著asml百分之二十七的股份。”
“啊？什麽時候的事情？這戲法又是怎麽變出來的？”胡長風大吃一驚。
“asml的發展也不是一帆風順的，它也經曆過好幾次生死危機。”周至笑道：“asml成立於19884年，盡管脫胎於飛利浦，但是在成立之後的10年間都不曾盈利，持股的飛利浦和asm在前年都失去了信心，因為吃不消這無止境的燒錢，asm把持有的股份都賣了，還是虧了3500萬美元賣的。”
“正在信息產業領域尋找投資機會的安盛基金適時接手了，那一次，我們拿到了14%的股份。”
“asml的第二次危機是來自和蔡司的合作。蔡司本身是和肖特綁定的，重大投資必須由兩家公司一起做出決定，而蔡司當時處於虧損，完全依賴姐妹公司肖特輸血。”